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常見的電子無塵車間潔凈度等級有十萬級、萬級、千級、百級、十級等，數(shù)值越高代表這個車間的含塵量越大，也意味著車間的潔凈度越低，所以這幾個潔凈度等級中，十萬級歸于較低級，而十級歸于。不同電子產(chǎn)品依據(jù)生產(chǎn)工藝的不同會需要不同潔凈度等級的凈化車間，而不同的潔凈度等級的電子無塵車間有著不同的規(guī)范，所以說，無塵車間的規(guī)范要根據(jù)是什么樣等級的車間以及產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求來定。

比方說十萬級潔凈度等級的電子無塵車間的規(guī)范有：塵粒較大答應數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不超越350萬個，≥5微米的粒子數(shù)不超越2萬個。塵粒較大答應數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不超越350萬個，≥5微米的粒子數(shù)不超越2萬個。相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，關于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。電子無塵車間的溫濕度規(guī)范要看具體是什么樣的電子產(chǎn)品，不同的電子產(chǎn)品關于溫濕度要求是不一樣的，可是電子車間通常都有防靜電要求，由于靜電會對電子產(chǎn)品形成不良影響，所以在確定溫濕度數(shù)據(jù)的時候要考慮到盡可能削減靜電的產(chǎn)生。

電子無塵車間的萬級、千級、百級、十級等潔凈度等級的規(guī)范也是有著各自的要求的